铭扬半导体取得抛光装置和抛光设备专利,使抛光液在抛光盘上的分布更加均匀全面(铭镓半导体上市了吗) ypxx.net

国家知识产权局信息显示,铭扬半导体科技(合肥)有限公司取得一项名为“抛光装置和抛光设备”的专利,授权公告号CN224867044U,申请日期为2026年9月。

专利摘要显示,本实用新型公开了抛光装置和抛光设备,抛光装置包括:抛光盘;抛光液输送臂,抛光液输送臂的下侧开设有多个抛光液出口,设定多个抛光液出口在抛光盘上正投影的连线为抛光液出口投影连线,抛光液出口投影连线位于抛光盘的圆心的径向一侧。由此,通过在抛光液输送臂的下侧开设多个沿抛光盘的径向间隔设置的抛光液出口,并使抛光液出口投影连线位于抛光盘的圆心的径向一侧,抛光液出口投影连线的一端邻近抛光盘的圆心,抛光液出口投影连线的另一端邻近抛光盘的边缘,这样可以增加抛光液的落点覆盖区域,缩短抛光液的径向扩散距离,使抛光液在抛光盘上的分布更加均匀全面,从而改善晶圆抛光过程中抛光液分布不均匀的问题,提升晶圆的抛光品质。

天眼查资料显示,铭扬半导体科技(合肥)有限公司,成立于2022年,位于合肥市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1150万人民币。通过天眼查大数据分析,铭扬半导体科技(合肥)有限公司共对外投资了1家企业,专利信息20条,此外企业还拥有行政许可4个。

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