《刻蚀工艺MFC现场问题分析与处理思路》(刻蚀工艺原理)

刻蚀设备里，MFC装上去之后控不准、响应慢、读数漂移，是现场比较常见的问题。刻蚀气体多为腐蚀性介质，气路条件和参数设置不到位，控制精度就发挥不出来。下面按现场处理的顺序说几个实际问题。

一、先查气路密封和工作压差

刻蚀设备对气路密封要求高，腐蚀性气体一旦泄漏，既影响流量控制，也带来安全风险。装好后先做气密性检查。MFC正常工作需要一定的进出口压差，压差不够，阀门开度到最大也达不到设定流量，表现是流量跟不上或控制不住。压差过大则可能超出控制器允许范围。调试前先确认供气压力和下游背压在M