小量程MFC装上去之后控不准、流量跟不上设定值、零点漂移或者响应慢,是现场比较常见的问题。量程小,任何一点偏差都会被放大。下面按现场处理的顺序说几个实际问题。
一、先确认量程和设定值是否匹配
小量程MFC的满量程可能是几十sccm。如果设定值经常落在满量程10%以下,阀门开度小,控制精度和重复性都会下降,表现是设定值调不动或者流量反复波动。如果设定值接近满量程,工艺调整余量不足,流量稍有波动就可能超限。先确认常用设定值是否落在满量程20%到80%区间,不匹配的话要考虑换量程。
二、
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