《腐蚀性气体流量控制，MFC选型有几个关键点》(腐蚀性气体过滤)

半导体刻蚀、化工合成、特种气体处理等场合，经常需要控制氯气、氯化氢、氟化氢、三氟化氮、溴化氢这类腐蚀性气体。这些气体对MFC的接液部件有腐蚀性，普通材质用一段时间就会出现密封老化、传感器失效、阀口腐蚀。耐腐蚀MFC针对这类工况，在接液材质、密封结构和表面处理上做了专门选择。

一、接液材质是耐腐蚀的基础

MFC接触气体的部分包括传感器流道、阀体、阀座和密封件。普通MFC常用不锈钢加弹性体密封，遇到腐蚀性气体，不锈钢可能点蚀，弹性体可能溶胀或老化。

耐腐蚀MFC在接液材质上通常选用耐蚀合金，比如哈氏合金、蒙乃尔合金，部分场合用全金属密封