《微小流量质量流量计：选型前先搞清楚这三件事》(微小流量传感器)

半导体工艺、实验室分析、生物制药和真空镀膜这些场合，气体流量常小到每分钟几毫升甚至几sccm。这个量级下，流量计本身的信号就小，量程选偏一点、气体设错一项、管路漏一点，读数就跟着偏。微小流量MFM（质量流量计）只负责测量，不控制流量，选型和使用有它自己的门道。

一、量程要贴近实际流量

微小流量MFM的满量程可能是10sccm、50sccm、100sccm这样的级别。选型时让常用流量落在满量程的20%到80%区间，最小流量要高于仪表的下限。

量程选大了，常用流量落在满量程10