半导体特气输送为什么宁可贵也要无油压缩(半导体特气管道安装)

一句话核心：喷油机的油蒸气是分子级污染，过滤器拦不住；先进制程对烃类容忍度是 ppt 级别，一旦进腔，是整批晶圆报废，损失远大于压缩机差价。下面分 4 个评审直接能用的要点：

1. 油蒸气无法靠后处理彻底消除 油分液态油雾可以被聚结滤除掉，但油蒸气（碳氢 VOC）是气相分子，活性炭吸附只能做辅助，工况波动、温度升高就会脱附、穿透。特气（硅烷、氯化氢、氟化气、高纯氢等）直接进刻蚀、外延、沉积腔体，不是动力用气；哪怕 ppb 级烃，高温